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OPT OpenIR  > 先进光电与生物材料研究室
微通道板及在微通道板内壁制备Cu掺杂AlO高阻薄膜的方法
郭俊江; 彭波; 郭海涛; 朱香平; 许彦涛; 曹伟伟; 邹永星; 陆敏
2019-01-24
亚洲彩票app下载权人中国科学院西安光学精密机械研究所
授权国家中国
亚洲彩票app下载类型发明亚洲彩票app下载
产权排序1
摘要

本发明涉及一种微通道板及在微通道板内壁制备Cu掺杂Al2O3高阻薄膜的方法,微通道板内壁制备Cu掺杂Al2O3高阻薄膜,高阻薄膜是通过原子层沉积方法在微通道板内壁进行不同组分材料沉积来获得Cu掺杂Al2O3的高阻薄膜的,沉积时,在一个大循环中,通过控制Al2O3沉积次数与Cu沉积次数,以控制Cu掺杂比例,从而可106?1010Ω·cm范围内精确调控薄膜的电阻率;通过控制大循环的循环次数控制薄膜的厚度。所制备的薄膜在高温工作环境下或高温退火后,电阻率基本保持恒定,解决了现有微通道板表面薄膜在高温条件下电阻率变化大导致微通道板性能不稳定的技术问题。

申请日期2019-01-24
亚洲彩票app下载号CN201910068958.7
语种中文
亚洲彩票app下载状态申请中
申请号CN201910068958.7
公开(公告)号CN109680261A
文献类型亚洲彩票app下载
条目标识符/handle/181661/67909
专题先进光电与生物材料研究室
推荐引用方式
GB/T 7714
郭俊江,彭波,郭海涛,等. 微通道板及在微通道板内壁制备Cu掺杂AlO高阻薄膜的方法. CN201910068958.7[P]. 2019-01-24.
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